在半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)化浪潮中，核心部件靜電卡盤（ESC）的突破至關(guān)重要。珂瑪科技近日實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵跨越：8 英寸刻蝕用單極靜電卡盤（Monopolar ESC）穩(wěn)定量產(chǎn)，12 英寸 ICP/CCP 刻蝕機(jī)型同步推進(jìn)客戶端驗(yàn)證，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn) ESC 正式進(jìn)入規(guī)模化交付與攻堅(jiān)并行的新階段。這一進(jìn)展，也為坂口電熱（SAKAGUCHI） 精密加熱組件在刻蝕溫控場(chǎng)景的深度滲透，打開全新空間。 

珂瑪科技依托 “02 專項(xiàng)” 技術(shù)積淀，攻克陶瓷 - 金屬鍵合、高絕緣陶瓷燒結(jié)、等離子體工況適配等核心難題，其 8 寸刻蝕 ESC 已通過國(guó)內(nèi)主流刻蝕設(shè)備廠商驗(yàn)證并批量交付，適配刻蝕機(jī)高密度等離子體、強(qiáng)腐蝕、寬溫域（-20℃~200℃）等工況，實(shí)現(xiàn)吸附均勻、溫控穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命耐轟擊三大核心性能達(dá)標(biāo)，成功 8 寸刻蝕 ESC 量產(chǎn)空白，助力國(guó)產(chǎn)刻蝕設(shè)備完成 “設(shè)備 - 卡盤” 國(guó)產(chǎn)化閉環(huán)。 

從 8 寸量產(chǎn)到 12 寸驗(yàn)證，珂瑪科技構(gòu)建起 “成熟量產(chǎn) + 攻堅(jiān)” 的產(chǎn)品矩陣，2025 年半導(dǎo)體業(yè)務(wù)收入同比激增 205%，研發(fā)投入持續(xù)加碼（2026 年一季度同比增長(zhǎng) 62.12%），為 12 寸 ESC 規(guī)模化落地筑牢技術(shù)與產(chǎn)能基礎(chǔ)。 

• 全域均勻加熱，保障刻蝕一致性：采用陶瓷 / PI 復(fù)合加熱技術(shù)，適配 8/12 寸卡盤曲面結(jié)構(gòu)，全域溫差≤±0.1℃，無熱點(diǎn)、無溫度漂移，適配高密度等離子體刻蝕的均勻溫控需求，從源頭規(guī)避晶圓刻蝕不均、良率波動(dòng)問題。

• 超薄柔性設(shè)計(jì)，適配多區(qū)控溫：*薄 0.1mm 超薄結(jié)構(gòu)，可嵌入卡盤內(nèi)部實(shí)現(xiàn)分區(qū)貼合加熱，適配 12 寸多區(qū)控溫 ESC 的獨(dú)立溫控設(shè)計(jì)，支持不同區(qū)域精準(zhǔn)控溫，滿足先進(jìn)制程復(fù)雜刻蝕工藝需求。

• 工況穩(wěn)定，長(zhǎng)壽命耐用：全陶瓷一體燒結(jié)，低釋氣、高絕緣、耐腐蝕，耐受刻蝕腔體高真空、等離子體轟擊及特氣腐蝕環(huán)境，使用壽命超 10 萬小時(shí)，大幅降低卡盤維護(hù)與更換成本。

• 快速溫變響應(yīng)，提升制程效率：低熱容設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)5℃/ 秒快速升溫，適配刻蝕 “快速升溫 - 恒溫刻蝕 - 快速降溫” 工藝節(jié)拍，助力晶圓廠提升設(shè)備稼動(dòng)率，匹配 8/12 寸產(chǎn)線高效生產(chǎn)需求。 
  
  

  

我司深圳電商商業(yè)股份有限公司，是坂口電熱品牌在中國(guó)區(qū)域的正規(guī)授權(quán)代理商。企業(yè)長(zhǎng)期專注精密加熱元器件供應(yīng)鏈服務(wù)，熟悉半導(dǎo)體、精密制造等多領(lǐng)域工藝應(yīng)用場(chǎng)景，積累了豐富的產(chǎn)品配套經(jīng)驗(yàn)。
我們可供應(yīng)文中產(chǎn)品以及品牌旗下全部系列加熱相關(guān)器件，采用原廠直采供貨模式。同時(shí)可為客戶提供專業(yè)選型匹配、專屬規(guī)格定制開發(fā)服務(wù)，交易全程配備完善的技術(shù)對(duì)接、使用指導(dǎo)等配套支持。所有出庫產(chǎn)品均為原裝**，相關(guān)單據(jù)與貨品信息完整留存，支持溯源核查，品質(zhì)穩(wěn)定可靠。
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